Keithley 自動化檢定套件 (ACS) 軟件

用于特性分析的靈活編程方式

ACS的特點是腳本編輯器，這是一個獨立的工具，帶有圖形用戶界面，用于開發Python代碼和TSP®腳本，進行儀表控制、數據分析和系統自動化操作。其提供創建和開發 GUI 設計以及管理用戶庫和模塊的直觀方法。

自動化數據收集過程

ACS的晶圓探針自動化選項使您能夠輕松將各種常用的半自動或全自動晶片探針臺連接到測試設置中，從而可以快速捕獲大量數據。此選項包括晶片描述實用程序、具有晶片評等功能的實時晶片圖、暗盒樣品計劃實用程序以及測試后暗盒和晶片查看實用程序。ACS 內置的許多工具和功能都可以增強設備的自動檢定能力。

分享測試項目和結果

ACS提供了一組通用的關鍵元素，可以跨多種硬件配置工作，從而減少了時間并提高了生產率。系統從一個硬件到另一個硬件實現的執行是一致的，因此，例如，很容易將用于單設備組件表征的基礎ACS系統的你的測試結果轉移到另一個設計用于晶圓級測試的系統。

限度地提高 Keithley 硬件的生產率

ACS中的工具簡化了測試開發流程，限度地提高了與系統相連的每個Keithley儀器的速度。ACS 和 Keithley 基礎TSP的硬件一起提供了業界的吞吐量，從而降低了測試成本，不需要您在獲得實現目標所需的數據之前花時間學習新的編程概念或語言。

• 專為封裝器件（MOSFET、BJT、IGBT、二極管、電阻器等）設計
• 豐富的測試庫，無需編程即可快速輕松地設置和執行測試
• 內置數據分析工具，可快速分析參數數據
• 使用自動硬件管理工具簡化儀器配置

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查看 ACS 基本版數據表

• 支持以下測試模塊：GUI、Lua Script、Python 和 C 語言
• 支持各種儀器和探頭，以適應廣泛的應用
• 直觀的 GUI 簡化了 I-V 測試、分析以及從臺式測試儀到全自動參數測試儀的結果，以增強用戶體驗
• 在設備、子站點、站點、晶片和暗盒級別開發和執行測試，以提高測試能力

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查看 ACS 標準版數據表

• 系統配置包括 2 到 44 個通道
• 符合 JEDEC 標準的綜合測試套件
• 針對新興技術和成熟技術進行了優化
• 同時支持順序測試和并行測試
• 全自動化的單站點和多站點能力
• 兼容所有常用的晶片探頭測試臺
• 實時繪圖和晶片繪制

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查看 ACS WLR 版數據表

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軟件的維護通過維護許可證進行。維護許可證可延長軟件的 維護期，以便能持續進行軟件更新。作為軟件本身價格的 一部分，維護是在發布新功能時保持軟件得到更新的方式。鑒于訂閱已包括整個訂閱期內的維護，該許可證 僅適用于性許可證。維護許可證應在維護過期之日或之前應用， 這樣才能接收到不間斷的軟件更新。如果維護確實過期了，通過購買足以 從過期之日接上并延長的許可證 即可輕松延長維護期。與購買的版本相比，以此方式續訂維護 可確保以較低的價格獲得更新的軟件。

注： 性許可證包括一年維護，但是一年后， 每 12 個月將要求使用新的維護許可證才能繼續接收更新。

從實驗室到晶圓廠的應用

ACS基礎版集成測試系統是參數化揀選、高功率半導體器件檢定和晶片級可靠性測試等應用的完整解決方案。當配合適合的半自動和全自動探針臺，它們的硬件配置和測試項目開發可以很容易地針對特定的任務進行優化。

使用 Keithley 高功率系統 SMU 儀器和 ACS 基礎版軟件測試功率半導體設備的應用指南

ACS 多站點并行測試集成測試系統應用指南

Increase Reliability Throughput

Reliability tests improve quality, reduce failure rates, ensure high yields, and increase confidence. ACS Software supports Shared Stress methodology for high volume reliability testing, accelerating test times. 

Shared Stress Reliability Testing with ACS Application Note

Ultra-Low Resistance Measurements using Delta Mode

The 2182A/622X combination is well suited for many nanotechnology applications because it can measure resistance without dissipating much power in the device under test (DUT), which would otherwise invalidate results or even destroy the DUT. Perform Delta Mode tests with ACS Software to incorporate these sensitive measurements into a test system.

Keithley Ultra-Low Resistance Configurations Series 6200/2182A

用于GaN HEMT I-V 特性分析的電源時序

由于GaN HEMT的“常開"特性，在進行I-V特性分析時需要一個特定的電源時序。ACS軟件支持在不破壞器件本身的I-V特性的情況下，對器件的GaN HEMT特性進行電源時序測試。

GaN HEMT 檢定的電源時序應用指南

服務于半導體工作流程中的應用

ACS Basic Edition 和 ACS Standard Edition 軟件在整個半導體工作流程中均用于對半導體器件進行廣泛的測試，以獲得詳細的檢定。整合 ACS Basic 和 ACS Standard 的測試系統可提供：

• 在設備、晶圓和暗盒級進行測試
• 靈活的配置、軟件和應用程序定制
• 交互式和自動化系統操作
• GUI 和腳本工具的強大組合，用于測試模塊開發

開發階段

ACS Basic Edition 軟件于組件和分立（封裝）半導體器件的參數測試。該軟件運用以下特點，限度地提高了技術人員與工程師在研發方面的生產力：

• 專為封裝器件（MOSFET、BJT、IGBT、二極管、電阻器等）設計
• 豐富的測試庫，無需編程即可快速輕松地完成測試設置和執行
• 內置數據分析工具，可快速分析參數數據
• 支持 Keithley 2600B 系列、2400 系列、2651A 系列和 2657A 系列系統 SourceMeter SMU 儀器

集成階段

集成階段使用 ACS Standard Edition 軟件進行半自動晶圓測試，包括穩定的過程開發和晶圓級可靠性 (WLR)。該軟件可用于 SMU-per-pin 系統級測試。ACS WLR 軟件提供以下好處：

• 全自動功能，可測試單個晶圓或整個暗盒
• 可實現靈活的測試設置和并行測試的軟件
• 可靠性測試模塊 (RTM) 符合 JEDEC 標準測試方法
• 支持創建定制的測試模塊/程序

生產階段

ACS 標準版軟件還適用于集成的機架式自動定制測試系統，用于過程控制監控 (PCM)、晶圓驗收測試 (WAT) 和晶粒挑揀。ACS Standard 軟件中內置的許多工具和功能可增強 設備的自動檢定能力：

• 晶圓和暗盒級自動化
• 將設備和測試映射到站點和子站點的測試圖
• 交互式探針臺控制模式
• 單個或每個晶圓的 Keithley 數據文件